ÊÀ½ç·ÛÄ©Ò±½ð¼¼ÊõÓ¦Óøſö
2003ÄêÈ«Çò·ÛÄ©»õÔË×ÜÁ¿Ô¼Îª88Íò¶Ö£¬ÆäÖÐÃÀ¹úÕ¼51%£¬Å·ÖÞ18%£¬ÈÕ±¾13%£¬ÆäËü¹ú¼ÒºÍµØÇø18%¡£Ìú·ÛÕ¼Õû¸ö·ÛÄ©×ÜÁ¿µÄ90%ÒÔÉÏ¡£´Ó2001ÄêÆð£¬ÊÀ½çÌú·ÛÊг¡³ÖÐøÔö³¤£¬4Äêʱ¼äÔö¼ÓÁ˽ü20%¡£
Æû³µÐÐÒµÈÔÈ»ÊÇ·ÛÄ©Ò±½ð¹¤Òµ·¢Õ¹µÄ×î´ó¶¯Á¦ºÍ×î´óÓû§¡£Ò»·½ÃæÆû³µµÄ²úÁ¿ÔÚ²»¶ÏÔö¼Ó£¬ÁíÒ»·½Ãæ·ÛÄ©Ò±½ðÁã¼þÔÚµ¥Á¾Æû³µÉϵÄÓÃÁ¿Ò²ÔÚ²»¶ÎÔö¼Ó¡£±±ÃÀƽ¾ùÿÁ¾Æû³µ·ÛÄ©Ò±½ðÁã¼þÓÃÁ¿×î¸ß£¬Îª19.5¹«½ï£¬Å·ÖÞƽ¾ùΪ9¹«½ï£¬ÈÕ±¾Æ½¾ùΪ8¹«½ï¡£ÖйúÓÉÓÚÆû³µ¹¤ÒµµÄ¸ßËÙ·¢Õ¹£¬ÓµÓо޴óµÄ·ÛÄ©Ò±½ðÁ㲿¼þÊг¡Ç°¾°£¬ÒѾ³ÉΪÖÚ¶à¹ú¼Ê·ÛÄ©Ò±½ðÆóÒµ¹Ø×¢µÄ½¹µã¡£
·ÛÄ©Ò±½ðÌú»ùÁã¼þÔÚÆû³µÉÏÖ÷ÒªÓ¦ÓÃÓÚ·¢¶¯»ú¡¢´«ËÍϵͳ¡¢ABSϵͳ¡¢µã»ð×°Öõȡ£Æû³µ·¢Õ¹µÄÁ½´óÇ÷ÊÆ·Ö±ðΪ½µµÍÄܺĺͻ·±££»Ö÷Òª¼¼ÊõÊÖ¶ÎÔòÊDzÉÓÃÏȽø·¢¶¯»úϵͳºÍÇáÁ¿»¯¡£
Å·ÖÞ¶ÔÆû³µÎ²Æø¹ýÂËΪ·ÛÄ©Ò±½ð¶à¿×²ÄÁÏÓÖÌṩÁ˺ܴóµÄÊг¡¡£ÔÚÄ¿Ç°µÄ·¢¶¯»ú¹¤×÷Ìõ¼þÏ£¬·ÛÄ©Ò±½ð½ðÊô¶à¿×²ÄÁϱÈÌմɲÄÁϾßÓиüºÃµÄÐÔÄÜÓÅÊƺͳɱ¾ÓÅÊÆ¡£
¹¤¾ß²ÄÁÏÊÇ·ÛÄ©Ò±½ð¹¤ÒµÁíÒ»ÀàÖØÒª²úÆ·£¬ÆäÖÐÌرðÖØÒªµÄÊÇÓ²ÖʺϽð¡£Ä¿Ç°ÖÆÔìÒµµÄ·¢Õ¹³¯×Å3A·½Ïò£¬¼´Ãô½ÝÐÔ£¨Agility£©¡¢ÊÊÓ¦ÐÔ£¨Adaptivity£©ºÍ¿ÉÔ¤²âÐÔ£¨Anticipativity£©¡£ÕâÒªÇó¼Ó¹¤¹¤¾ß±¾Éí¸ü·æÀû¡¢¸ÕÐÔ¸üºÃ¡¢ÈÍÐÔ¸ü¸ß£»¼Ó¹¤²ÄÁϵķ¶Î§À©´óµ½ÂÀºÏ¡¢Ã¾ºÏ½ð¡¢îѺϽðÒÔ¼°Ìմɵȣ»³ß´ç¾«¶ÈÒªÇó¸ü¸ß£»¼Ó¹¤³É±¾ÒªÇó¸üµÍ£»»·¾³Ó°ÏìÒª¼õµ½×îС£¬¸Éʽ¼Ó¹¤±ÈÀý¸ü´ó¡£ÕâЩÐÂÒªÇó¼Ó¿ìÁË·ÛÄ©Ò±½ð¹¤¾ß²ÄÁϵķ¢Õ¹¡£Ó²ÖʺϽðµÄ¾§Á££¨£¼200nm£½ºÍ³¬´Ö¾§Á££¨£¾6um£©£»Í¿²ã¼¼Êõ·¢Õ¹ºÜ¿ì£¬CVD¡¢PVD¡¢PCVD¼¼ÊõÈÕÒæÍêÉÆ£¬Í¿²ãÖÖÀàÒ²ºÜ¶à£¬´Ó³£ÓõÄDTiCN/Al2O3 /TiNµ½CVD PCBN£¨¾Û¾§Á¢·½BN£©ÒÔ¼°PVD TiAIN£¬Al2O3 £¬cBN£¨Á¢·½BN£©ºÍSiMAlONµÈ£¬Âú×ã ¼Ó¹¤³¡ºÏµÄÐèÒª¡£
ÐÅÏ¢ÐÐÒµµÄ·¢Õ¹Ò²Îª·ÛÄ©Ò±½ð¹¤ÒµÌṩÁËеÄÆõ»ú¡£ÈÕ±¾µç×ÓÐÐÒµÓõķÛÄ©Ò±½ð²úÆ·ÒѾ´ïµ½ÁËÿÄê4.3ÃÀÔª£¬ÆäÖÐÈȳÁ²ÄÁÏÕ¼23%£¬·¢¹âÓëµã¼«²ÄÁÏÕ¼30%¡£Ç°ÕßÖ÷Òª°üÀ¨É¢ÈȲÄÁÏ£¬ÈçSi/SiC£¬Cu-Mo£¬Cu-W£¬Al-SiC£¬AlNÒÔ¼°Cu/½ð¸ÕʯµÈ²ÄÁÏ£»ºóÕßÔòÖ÷Òª°üÀ¨ÎÙ¡¢îâ²ÄÁÏ¡£
½ðÊô·ÛÄ©¶à¿×²ÄÁÏ
½ðÊô·ÛÄ©¶à¿×²ÄÁϵÄÓ¦Ó÷dz£¹ã·º£¬ÈçÇáÖʽṹ²ÄÁÏ¡¢¸ßιýÂË×°ÖᢷÖÀëĤµÈ¡£Ä¿Ç°×î´óµÄÊг¡¿ÉÄÜÊDzñÓÍ·¢¶¯»úµÄÑ̳¾¹ýÂË×°Öᣵ¹úµÄFraunhoferÑо¿Ëù¿ª·¢ÁËÒ»ÖÖ½ðÊô¿ÕÐÄÇòÖƱ¸¼¼Êõ£¬ÔÚ¾ÛºÏÎï»ùÌåÉÏÍ¿¸²½ðÊô·ÛÄ©ÁϽ¬£¬È»ºóͨ¹ýÍÑÍ¿¾ÛºÏÎï»ùÌåºÍÕ³½á¼Á£¬×îºóÉÕ½á³É¸÷ÖÖ¾ßÓпÕÐĽṹµÄ½ðÊôÇòÌå¡£ÇòÌåµÄÖ±¾¶¿É´Ô1mmÖÁ8mm¡£ËùÖƱ¸µÄ¸Ö¿ÕÐÄÇòµÄÃܶȽö0.3g/cm3¡£
Ó²ÖʺϽð
ÄÉÃ×¾§ºÍÌݶȽṹÊÇÓ²ÖʺϽðµÄÁ½¸öÖص㷽Ïò¡£ÄÉÃ×¾§²ÄÁÏ·½Ãæ°üÀ¨¾§Á£³¤´ó¿ØÖƺÍÄÉÃ×·ÛÄ©ÖƱ¸¡£ÌݶȽṹºÏ½ð·½Ãæ°üÀ¨¹¤ÒÕÓë½á¹¹µÄ¹Øϵ¡£½«ÄÉÃ×¾§ºÍÌݶȽṹ½áºÏÆðÀ´¿ÉÄÜÊÇÒ»¸öºÜºÃµÄ·½Ïò£¬Äܹ»ÔÚ¸ü΢¹Û²ã´ÎÉÏʵÏÖÐÔÄܵĿɵ÷¡£Ó²ÖʺϽðµÄÓ²¶È¸ß£¬¿É¼Ó¹¤ÐԲÒò´Ë²ÉÓÃ×¢Éä³ÉÐÎÖƱ¸¸´ÔÓÐÎ×´ÖÐСÐÍÁã¼þÊÇ·¢Õ¹Ç÷ÊÆ£¬µ«ÊÇÆäÉÌÓû¯ÈÔÈ»Êܼ¼Êõ³ÉÊì¶ÈµÄ¿ØÖÆ¡£Ó²ÖʺϽðÆäËû·½ÃæµÄ¹¤×÷°üÀ¨Ìì¼ÒÏ¡ÍÁ¼°ºÏ½ðÔªËØ¡¢¶ÏÁÑÈÍÐԺͿɿ¿ÐÔ±íÕ÷µÈ¡£
·ÛÄ©Çá½ðÊôºÏ½ð
Æû³µÇáÁ¿»¯ÎªÂÁ¡¢Ã¾¡¢îѵÈÇá½ðÊô²ÄÁÏÌṩÁ˹ãÀ«µÄÓ¦ÓÃÇ°¾°¡£·ÛÄ©ÂÁºÏ½ðÔÚÆû³µÉÏ¿ÉÓ¦ÓõIJ¿Î»·Ç³£¶à£¬µ«Al-SiºÏ½ðÓÉÓڸ߱ÈÇ¿¶È¡¢¸ß±È¸Õ¶È¡¢µÍÈÈÅòÕÍϵÊýºÍÄÍÄ¥ÐԺã¬ÓпÉÄÜÂÊÏÈÔÚÓͱóÝÂÖ·½Ãæ´ó¹æÄ£Ó¦Óᣴӹ¤Òµ»¯½Ç¶ÈÀ´¿´£¬¶Ô·ÛÄ©Ò±½ðÂÁºÏ½ðÖƱ¸¹ý³ÌµÄÓÅ»¯Ñо¿¸üΪÖØÒª¡£ÂÁºÏ½ðµÄÁíÒ»¸öÑо¿ÈȵãÊǸ´ºÏ²ÄÁÏ£¬°üÀ¨´«Í³µÄAl/SiC£¬Al/C£¬Al/BN£¬Al/Ti£¨C£¬N£©ÒÔ¼°Ð³öÏÖµÄÄÉÃ×̼¹ÜÔöÇ¿ÂÁºÏ½ð¡£¸ßÇ¿·ÛÄ©ÂÁºÏ½ðÓë¿ìËÙÄý¹Ì¼¼ÊõÃÜÇÐÏà¹Ø¡£Í¨¹ý³É·ÖÉè¼Æ£¬ÔÚ´¿ÂÁ»ùÌåÖмÓÈë½ðÊô¼ä»¯ºÏÎïÐгÉ×éÔª£¬¿ÉÒÔÖƱ¸¸ßÇ¿¶È¡¢¸ßÈÍÐÔ¡¢¸ßÈÈÎȶ¨ÐÔ¼æ¹ËµÄÂÁºÏ½ð¡£¸Ã²ÄÁϵÄÊÒÎÂÇ¿¶È´óÓÚ600Mpa£¬ÑÓÉìÂʳ¬¹ý10%£¬ÔÚ400¡æ»¹ÓкܺõÄÈÈÎȶ¨£¬Æ£Àͼ«ÏÞÊǶÍÔìÂÁºÏ½ðµÄ2±¶¡£
þºÏ½ðµÄÃܶȸüС£¬ÆäÓ¦ÓÃÇ°¾°¿ÉÄܸüºÃ£¬µ«Ä¿Ç°ÈÔ´¦ÓÚÑо¿×´Ì¬¡£²ÉÓÿìËÙÄý¹Ì·½·¨Ò²ÊÇÖƱ¸¸ßÐÔÄÜ·ÛĩþºÏ½ðµÄÖØÒªÊֶΡ£Ä¿Ç°¸Ã¼¼ÊõÔÚ°²È«ÐÔ·½ÃæÒѾûÓÐÌ«´óµÄÎÊÌ⣬ËùÖƱ¸³öµÄ²ÄÁÏÐÔÄÜÒ²Ô¶Ô¶¸ßÓÚÖýÔìºÏ½ð¡£
îѺϽðÔÚÆû³µÉϵÄÓ¦ÓÃÖ÷ÒªÊdzɱ¾ÎÊÌ⣬¶ø·ÛÄ©îѺϽðµÄÖ÷ÒªÕÏ°ÔÚÓÚ¸ßÐÔÄܵͳɱ¾îÑ·Û¡£Ó¢¹úQinetiQ Ltd¿ª·¢ÁËÒ»ÖÖµêÍÑÑõ¼¼Êõ£¨EDO£©£¬¿ÉÅúÁ¿Éú²úîÑ·Û¡£¸Ã¼¼ÊõÓ봫ͳµÄÒÔº£ÃàîÑΪÔÁϵÄÇ⻯ÍÑÇâ¹ý³ÌÍêÈ«²»Í¬¡£ËüÊÇÒ»ÖÖÀàËÆÓÚÈÛÑεç½âµÄ·½·¨£¬ÒÔTiO2ΪÒõ¼«£¬Ê¯Ä«ÎªÑô¼«£¬ÔÚµç½â¹ý³ÌÖÐTiO2µÄÑô¼«Ç¨ÒÆ£¬²¢ÏûºÄÑô¼«µÄÌ¿ÐγÉCO£¬ÔÚÒõ¼«µÃµ½îÑ·Û¡£îÑ·ÛµÄÑõº¬Á¿ÔÚ0.035%~0.4%Ö®¼ä¡£²ÉÓÃÕâÒ»¼¼Êõ»¹¿É·½±ãµØÖƱ¸¸÷ÖÖîѺϽð·ÛÄ©¡£ÓÉÓÚ¶ÔÆø·ÕºÍÔÓÖʵÄÃô¸ÐÐÔ£¬·ÛÄ©îѺϽðµÄÉÕ½áÒ²Êǹ¤ÒÕÄѵ㣬ͨ³£ÓëÒªÈȵȾ²Ñ¹»òºóÐøÈȼӹ¤¡£Í¨¹ýÌí¼Ó¹²¾§ÐγÉ×éÔªºÍÏ¡ÍÁÔªËØÄܹ»Ã÷ÏÔ¸ÄÉÆ·ÛÄ©îѺϽðµÄÉÕ½áÖÂÃܶȣ¬ÆäÁ¦Ñ§ÐÔÄÜÒ²ÄÜ´ïµ½¶ÍÔìîѺϽðˮƽ¡£ÕâһϵÁй¤×÷½«´ó´óÍƶ¯îѺϽðÔÚÆû³µ»ú¹Ø¼ü²¿¼þÉϵÄÓ¦Óá£
¶ÔÓÚÒÔÉÏ·ÛÄ©Ò±½ðµÄÓ¦Óã¬ÎÒÈÏΪ·ÛÄ©Ò±½ð¼¼Êõ½«»áÔÚ¶à¿×ÅÝĽðÊôµÄ¿ª·¢ÓëÖÆÔìÉϳä·Ö·¢»ÓÆä¾Þ´óÓÅÊÆ£¬Í¬Ê±ÀûÓ÷ÛÄ©Ò׿ØÖÆ»ìºÏ±ÈÀý£¬¿ÉÒÔÔÚÆäÖÐÌí¼ÓÌض¨Ï¡ÍÁÔªËØ£¬Ê¹Æä¾ßÓÐÌض¨µÄ¹¦ÄÜ£¬´Ó¶ø¿ª·¢³ö¸÷ÖÖ¹¦ÄܲÄÁÏ¡£
¶à¿×ÅÝĽðÊôÊÇÒ»ÖÖÔÚ½ðÊô»ùÌåÖк¬ÓÐÒ»¶¨ÊýÁ¿ , Òª Ò»¶¨³ß´ç¿×¾¶ , Ò»¶¨¿×϶ÂʵĿ׶´µÄ½ð Êô²ÄÁÏ ¡£ÓÉÓÚÆä½á¹¹ÌØÊâ ,Òò´Ë¾ß±¸Á˶෽ÃæµÄÌØÊâÐÔÄÜ ¡£×÷Ϊ½á¹¹²ÄÁÏ , Ëü¾ßÓÐÇáÖÊ , ¸ß±ÈÇ¿¶È µÄÌصã ; ×÷Ϊ¹¦ÄܲÄÁÏ , Ëü¾ßÓжà¿× , ¼õÕñ , ×èÄá , ÎüÒô , ¸ôÒô , É¢ÈÈ , ÎüÊÕ³å»÷ÄÜ , µç´ÅÆÁ±ÎµÈ¶àÖÖ ÎïÀíÐÔÄÜ , Òò´ËÔÚ¹úÄÚÍâÒ»°ã¹¤ÒµÁìÓò¼°¸ß¼¼ÊõÁìÓò¶¼µÃµ½ÁËÔ½À´Ô½¹ã·ºµÄÓ¦Óá£ÈÕ±¾ÔÚÅÝĽðÊôµÄÓ¦ÓÃÉÏÈ¡µÃÁËһϵÁеijɹû , ÓÃËüÉú²úÁгµµÄ·¢µçÊÒ , ¹¤³§µÄ½µÔë×°Öà .ÓÉÓÚ¶Ô ÆµÂÊ´óÓÚ 800 Hz µÄÔëÉùÓкÜÇ¿µÄÏûÉùÄÜÁ¦ ,¿ÉÓÃËü À´Éú²ú¿Õѹ»úµÄÏûÉùÆ÷²Ä , ÁíÍ⻹¿ÉÓÃËüÀ´Éú²ú¹« ·µÄ·ÀÉù±Ú , ¹¤³§µÄ·ÀÉùǽ , »úе·ÀÉùÆÁ , ÃÅÄÚÏûÉù ¼þ, Ó°ÏìÊÒ¼°ÐèÒª½µµÍÔëÉùµÄ³¡ºÏµÈµÈ .ÔÚ¹ú·ÀÁì ÓòµÄÎäÆ÷×°±¸Öл¹¿ÉÒÔÖÆ×÷ÓãÀ׵ĸôÒô°å , ¼õСÓã À×µÄÔëÒô . ÀûÓÃÆä¼õÕñ , ×èÄáÐÔÄÜ , ×ö»º³åÆ÷ , ÎüÕñÆ÷ , Àý ÈçÓîÖæ·É´¬µÄÆðÂä¼Ü , Éý½µ»ú´«ËÍ°²È«µæ , ¸÷ÖÖ°ü×° Ïä , ÌرðÊÇ¿ÕÔË°ü×°Ïä , »ú´²´²Éí , µ××ù , ¼õС³ÝÂÖ Õñ¶¯ºÍÔëÉùµÄ×èÄá»· , ¸ßËÙÄ¥´²ÎüÄÜÄڳġ£ÀûÓà Ti »ò Co - Cr ºÏ½ðÅÝÄÓëÈËÌåµÄÉúÎïÏà ÈÝÐÔ ,¿ÉÓÃÓÚÈËÌå¹Ç÷À»òÑÀ³ÝµÄÌæ´ú²ÄÁÏ ,Mg ÅÝÄ Ò²ÓÐÍû×÷ΪÈ˹¤¹ÇÍ·µÄ²ÄÁÏ¡£
ÔÚÄ¿Ç°µÄ½ðÊô²ÄÁÏÖУ¬ÎÒÃÇ»¹Ã»ÓÐÑз¢³öͬʱӵÓÐËÜÁÏÒ»ÑùµÄµ¯ÐԺͽðÊôµÄÇ¿¶ÈµÄ½ðÊô£¬ÓÌÔ¥½ðÊôÔ×ӵļä¾àÓëÏ໥×÷Óã¬ÎÒÃÇÒ»Ö±ÎÞ·¨¿Ë·þÕâÒ»Äѵ㡣ÊÔÏ룬ÀûÓ÷ÛÄ©Ò±½ð¼¼Êõ£¬ÔÚ·ÛÄ©Öж¨ÐÔ¶¨Á¿µÄ¼ÓÈëijЩԪËØ£¨±ÈÈçÏ¡ÍÁÔªËØ£©£¬Ê¹²ÄÁÏ΢Á£±£³ÖÊʵ±¼ä¾à£¬ÔÚÊÕµ½Ò»¶¨Ñ¹Á¦Ê±²Å»á¼õС¼ä¾àʹ²ÄÁÏÊÕËõ±ä»¯£¬µ±Ñ¹Á¦Ïû³ýºó£¬²ÄÁÏÓÖ»á»Ö¸´µ½ÔÀ´µÄÐÎ̬¡£
ÃâÔðÉùÃ÷£ºÉÏÎĽö´ú±í×÷Õß»ò·¢²¼Õ߹۵㣬Óë±¾Õ¾Î޹ء£±¾Õ¾²¢ÎÞÒåÎñ¶ÔÆäÔ´´ÐÔ¼°ÄÚÈݼÓÒÔ֤ʵ¡£¶Ô±¾ÎÄÈ«²¿»òÕß²¿·ÖÄÚÈÝ(ÎÄ×Ö»òͼƬ)µÄÕæʵÐÔ¡¢ÍêÕûÐÔ±¾Õ¾²»×÷Èκα£Ö¤»ò³Ðŵ£¬Çë¶ÁÕ߲ο¼Ê±×ÔÐкËʵÏà¹ØÄÚÈÝ¡£±¾Õ¾ÖÆ×÷¡¢×ªÔØ¡¢Í¬Òâ»áÔ±·¢²¼ÉÏÊöÄÚÈݽö³öÓÚ´«µÝ¸ü¶àÐÅϢ֮ĿµÄ£¬µ«²»±íÃ÷±¾Õ¾ÈÏ¿É¡¢Í¬Òâ»òÔÞͬÆä¹Ûµã¡£ÉÏÊöÄÚÈݽö¹©²Î¿¼£¬²»¹¹³ÉͶ×ʾö²ßÖ®½¨Ò飻Ͷ×ÊÕ߾ݴ˲Ù×÷£¬·çÏÕ×Ôµ£¡£Èç¶ÔÉÏÊöÄÚÈÝÓÐÈκÎÒìÒ飬ÇëÁªÏµÏà¹Ø×÷Õß»òÓë±¾Õ¾Õ¾³¤ÁªÏµ£¬±¾Õ¾½«¾¡¿ÉÄÜÐÖú´¦ÀíÓйØÊÂÒË¡£Ð»Ð»·ÃÎÊÓëºÏ×÷£¡ ÖÐÎÙÔÚÏ߲ɼ¯ÖÆ×÷.
|