高纯钨粉的纯度为5N或6N，由高纯仲钨酸铵还原制得。高纯钨粉及其硅化物用于制备金属靶材，用于超大规模集成电路作为电阻层、扩散阻挡层等以及在金属氧化物半导体型晶体管中作为门材料及连接材料等。
高纯钨粉的纯度为5N或6N，由高纯仲钨酸铵还原制得。高纯钨粉及其硅化物用于制备金属靶材，用于超大规模集成电路作为电阻层、扩散阻挡层等以及在金属氧化物半导体型晶体管中作为门材料及连接材料等。
