蒸镀型钨舟指的是用于真空蒸发镀膜行业中的钨舟。
蒸镀型钨舟不同于其他类型的钨舟的点在于该类型的钨舟一般由钨舟盖和钨舟本体组成,一般钨舟盖上设有蒸发圆孔,孔径为1mm,孔间距可为2mm。钨舟盖上的蒸发孔既能有效防止原料溅出钨舟,保证了成品质量,又节省了原料,还有利于材料的升华和蒸发,提高镀膜效率。
钨舟可作为电阻蒸发源。它的工作方法是先将钨舟安装在两个电极中间,在钨舟中央加上材料,再慢慢的给电极进行通电,电流通过钨舟后,钨舟通电发热,这些低电压,大电流会使高熔点的钨舟产生热量,再热传导给镀膜材料,当钨舟的热量高于镀膜材料熔点的时候,材料就升华或者蒸发了。
蒸镀是将待成膜的物质置于真空中进行蒸发或升华,使之在工件或基片表面析出的过程。
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