离子源灯丝厦门开云app体育下载科技有限公司

离子源灯丝也就是用于离子注入机的钨丝。

离子注入机是VLSI制造工艺的关键设备，其运行情况直接影响到IC工艺线的效率。离子注入机的故障率较高，且大部分集中在离子源系统。离子源弧室内灯丝绝缘子在馈入工艺气体电离后的等离子体、聚合物及溅射产物等环境中，其表面容易沉积一层电离产物和溅射金属粒子混合覆盖物，若其结构不合理，在较短的时间内，就会降低阳极电极间的绝缘性，乃至短路。拆修后，灯丝基本上报废，使用率低，致使整台设备常常处于维修状态。所以，离子源的绝缘对注入机相当重要。离子源灯丝图片
离子源作为注入机的束流源，其工作的稳定性在很大程度上决定着引出离子束流的品质。通过合理设计离子源内绝缘子的结构，提高了防溅射粒子沉积物沾污的能力。阳极电源和灯丝电源的工作效率随工艺时间的增加而降低的情况得到了改善。增强了离子源的电离稳定性，系统的重复性较好，维修次数也明显减少。