旋转钨钼复合靶材在使用过程中的利用率远大于钨钼平面靶材。它可以采用热等静压技术进行生产,所得靶材的密度接近理论密度,其组织均匀性及纯度等指标均较优。衡量靶材质量的主要因素有纯度、致密度、晶粒尺寸及分布等。
钨钼旋转靶材的制作分为烧结法(辅以锻造整形或热等静压)、喷涂法和拉拔法。以烧结法生产得到的旋转靶材可以达到比较好的性能,但长度受到设备的局限较大;采用喷涂法生产旋转靶材具有长度不受限制的优势,但在密度、强度和厚度上有瓶颈。而拉拔法生产旋转靶材在国外较成熟,值得我们借鉴。
开云app体育下载 科技有限公司可生产不同尺寸的旋转钨钼复合靶材以配合不同型号的磁控溅射设备使用。
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