高纯致密三氧化钨是一种可以用于制备高纯度超高致密度WO3靶材的原料。而WO3靶材是电子束蒸镀法制备电致变色用三氧化钨薄膜常用的蒸镀物质。WO3薄膜是一种重要的功能材料,因其具有优良的电致变色性能而被用于电致变色系统中,如智能调光玻璃等。随着调光玻璃的推广,高纯致密WO3的应用也将逐步增多。
选用WO3靶材作为蒸镀物质是一种优化方案,虽然目前研究较多的是采用WO3粉末作为蒸镀物质,但是采用粉末的形式通常是不合适的。但是,当前国内外却鲜有对WO3靶材制备的报道。具有密度低、纯度低等缺点的三氧化钨粉末并不能满足制备WO3靶材的条件,因此制备高纯度高密度WO3靶材具有重要的意义。
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