钼铜(Mo-Cu)合金是由钼和铜两种金属元素所组成的一种材料,英文名为molybdenum copper alloy,具有高强度、高比重、耐高温、耐电弧烧蚀、断弧性能好、线膨胀系数低、加工性能好的特点,适合用于制造军用大功率微电子器件作为热沉封接材料。然而,传统的钼铜合金箔片却存在加工性能差、致密度低、导热性能一般的问题,所以下文将介绍一种综合质量更高的Mo-Cu 合金箔片的制备方法。其具体步骤如下:
1)设计钼铜合金箔片中铜和钼的含量,其中铜的质量百分含量为50%,余量为钼;将设计含量的铜粉和占设计含量的钼铜合金质量20%的铜粉,采用高能球磨的方法混合;
2)将球磨后的粉木模压成10-14mm厚的板杯,得到钼铜合金压坯;
3)将压坯置于氢气炉中预烧结,烧结温度约为800°C,保温时间约2小时,得到钼铜合金板坯;
4)按照所述钼铜合金箔片的成分配比,步骤2)中压坯另外所需的铜用铜片代替,取另外所需的铜重量的1.2-1.5倍且与板坯表面尺寸相同的铜片,将铜片置于钼铜板坯上面并对齐,装入钼丝炉中,升温至1200-1400℃熔渗烧结,保温2〜4小时,即得到设计合金成分的钼铜合金板材;
5)将钼铜合金板材在氮气气氛中加热,经热轧升坯后退火(退火温度700-900°C)处理,再进行冷轧,控制每道次的变形率,得到厚度为0.2-1.0mm的钼铜合金箔片。