タングステンウエハプローブをリサイクルする方法?ウエハ探査のコストを低減するためにはタングステンプローブのリサイクルが重要である。専門家によると、テストの間、先細のタングステン針は、複数のテストの後、着るようになりました。そして、ニードル・チップのより大きな直径に終わりました。このとき、タングステン針を含んでいるプロービングカード(ウェハテスト用のツールの1つ)を交換しないならば、それはテスト結果の正確さに影響を及ぼします;そして、それが取り替えられるならば、それはコストを増やします。この点において、プローブカードにタングステンウェハプローブを再利用する方法が提案されている。
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http://www.tungsten-carbide.com.cn/Japanese/index.html
タングステンウエハプローブのリサイクル方法
(3~7 %)水酸化ナトリウム溶液を含む吸着ボール(綿玉)を準備してください;電源の負極にコットンボールを接続しますロッドワイヤーを準備します電源の正極にロッド線を接続しますタングステン針の先端にコットンボールを接続し、タングステン針の本体にロッド線を接触させ、タングステン針の先端を腐食させます。ここで、電源の電圧値は10−12 Vである。