도핑 된 WO3 막은 전자 빔 증착에 의해 제조 될 수있다. 그 중에서도 전자빔 증착법은 증착법 중 하나이며 후자는 물리 증착법 중 하나에 속한다. 일부 전문가들은 WO3와 CNT의 혼합 분말을 원료로 사용하여 Al2O3 기판 위에 NWCNT가 도핑 된 WO3 박막을 전자빔 증착으로 제조 하였다.
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http://tungsten-oxide.com/korean/index.html
전문가들은 물리 기상 증착법이 실험실에서 널리 사용되는 필름 형성 방법이라고 말하면서 다른 방법과 비교해 볼 때 합성 필름의 속도가 빠르며 필름 순도가 높고 표면 균일 성이 좋으며 고 융점 반응이 더 많습니다. 상기 물질은 도핑 된 WO3 막의 제조에 사용되지만, 반응 장치는 비교적 고가이므로, 막 재료의 대규모 제조에 적합하지 않다. 전문가들은 또한 전자빔 증발의 원리는 고 에너지 전자빔을 사용하여 표적의 표면을 폭파하여 물질의 표면이 매우 높은 온도를 만들어 고체 상태에서 기체 상태로 직접 승화되고 공작물의 표면에 증착되어 필름을 형성하는 것이라고 전문가는 말했다.
