몰리브덴을 섞은 WO3 대면적의 전기변색유리는 현대건축에너지절약의 새로운 해결방안이다.그중 몰리브덴산화텅스텐을 섞은 전기변색박막은 전기변색창을 조립하는 중요한 전기변색층재료로서 자기제어사출법제를 통해 준비할수 있다.구체적인 사출 단계는 다음과 같습니다.
자세한 내용은 다음을 참조하십시오.
http://www.tungsten-powder.com/korean/tungsten-oxide.html
청결한 FTO 전도성 유리를 전도성 표면이 위로 향하는 트레이에 놓고 3M 테이프로 고정합니다.FTO 전도성 유리가 장착된 트레이를 표적과 함께 진공 반응실에 배치한 다음 사출을 시작합니다.우선 대기 상태에서 사출실에 진공을 빼내 사출실의 진공도가 10^-1Pa에 이르도록 한다. 사출실에 가스를 채우면 Ar2는 작동기체, O2는 반응기체로 사용되며 기체 유량 조절 다이얼을 통해 공기 흡입량을 원하는 값으로 조절한다.순수 아르곤가스로 10분간 미리 사출하여 표적재 표면의 오염물을 제거하고, 미리 사출한 후 사출을 시작합니다. 직류 사출을 통해 산화텅스텐 전기 변색 필름을 제조합니다. 여기서 사출 공정의 매개 변수는 다음과 같습니다. 사출 표적재는 몰리브덴 산화텅스텐 표적재를 섞은 것입니다.기판은 FTO 전도성 유리입니다.작동 가스는 Ar2입니다.Ar2 가스 유량은 70sccm입니다.반응 가스는 O2입니다.O2 가스 유량은 1-4sccm입니다.기판의 온도는 실온이다.사출 가스 압력은 2.4Pa입니다.사출 출력은 60W입니다.사출 시간은 0.5h입니다.작동 전압은 300V입니다.작동 전류는 0.2A입니다.
