インテリジェントガラス用酸化タングステンエレクトロクロミック薄膜はマグネトロンスパッタリング法により製造することができる。これに対し、専門家は、酸素アルゴン比が一定値に達すると、エレクトロクロミックデバイスの光変調範囲が最大になると述べている。そして、酸素分圧が増加するにつれて、光変調範囲は徐々に減少する。しかし、酸素分圧がエレクトロクロミック素子の光学変調範囲に影響を与えるのはなぜだろうか。
詳細については、
http://www.tungsten-powder.com/japanese/tungsten-oxide.html
これは、酸素含有量が小さすぎると、ターゲット中のW 2.9が酸素と完全に反応して非理想的な割合のWOxを形成できず、変色中の電極電荷負荷の低下を招き、それによって製造された薄膜のエレクトロクロミック性能が劣るためである。逆に、酸素流量が大きすぎると、マグネトロンスパッタリング法で製造されたエレクトロクロミック薄膜は酸素空孔が多すぎ、これはLi+の伝送路に影響を与え、酸化タングステン薄膜のエレクトロルミネッセンス性能を低下させる。
