단열 유리를 조립하는 데 사용되는 산화텅스텐 전기 변색 필름은 자기 제어 사출 법제를 통해 준비할 수 있다.너는 자기 제어 사출로 산화텅스텐 박막을 제조하는 기본 방법을 아니?
자세한 내용은 다음을 참조하십시오.
http://www.tungsten-powder.com/korean/tungsten-oxide.html
자기 제어 사출 제조 산화텅스텐 전기 변색 박막의 기본 방법
Ar + O2 혼합기체 또는 Ar 기체를 작업기체로 사용하고 산화텅스텐 또는 금속텅스텐을 표적재로 사용하며 표적재에 고전압을 가하여 이상휘광방전을 발생시켜 전기를 띤 Ar + 이온이 표적재를 폭격하고 표적재 표면의 원자와 클러스터가 이온형식으로 분리되여 기판 표면에 가라앉아 산화텅스텐 전기변색막을 형성한다.
전문가의 소개에 따르면 자기제어사출은 흔히 볼수 있는 도금방법으로서 성막속도가 빠르고 립경이 균일하며 치밀성이 좋고 박막과 FTO 전도유리의 결합이 량호하다는 등 장점이 있다.
