高结晶度的纳米氧化钨颗粒除了有良好的气敏效应外，还有优异的湿敏性能，因此适合应用于新一代的高质量湿度传感中。
湿敏元件是最简单的湿度传感器。根据工作原理的不同，其能分为电阻式、电容式两大类。
湿敏电阻的特点是在基片上覆盖一层用感湿材料制成的膜，当空气中的水蒸气吸附在感湿膜上时，元件的电阻率和电阻值都发生变化，利用这一特性即可测量湿度。根据组成材料的不同，其种类也非常多，如金属氧化物湿敏电阻、硅湿敏电阻、陶瓷湿敏电阻等。它们优点是灵敏度高，缺点是线性度和产品的互换性差。
湿敏电容一般是用高分子薄膜电容制成的，常用的高分子材料有聚苯乙烯、聚酰亚胺、酪酸醋酸纤维等；当环境湿度发生改变时，湿敏电容的介电常数发生变化，使其电容量也发生变化，其电容变化量与相对湿度成正比。其主要优点有灵敏度高、产品互换性好、响应速度快、湿度的滞后量小、便于制造、容易实现小型化和集成化，但是缺点是精度一般比湿敏电阻低。
除电阻式、电容式湿敏元件之外，还有电解质离子型湿敏元件、重量型湿敏元件、光强型湿敏元件、声表面波湿敏元件等。现今，为了进一步优化电阻式传感器的综合性能，其常用纳米氧化钨粉末来作为感湿材料的功能性原料。
