WO3外延薄膜被认为是极具潜力的气敏材料，因为它具有比表面积大、热稳定性好等优点，而且，其晶相、外露晶面及纵向晶粒尺寸可精确控制。
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据报道，研究人员针对WO3外延薄膜开展如下研究：
（1）用激光分子束外延在不同取向的LaAlO3、SrTiO3、Al2O3单晶衬底上制备具有特定晶相和晶面的WO3外延薄膜，结合结构表征、物性测量、第一性原理计算以及气敏性能测试，研究晶相、外露晶面及膜厚等参数对气敏性能的影响；
（2）在WO3外延薄膜表面修饰NiO、SnO2、Pd等材料，探究p-n、n-n及金属-氧化物异质结对气敏性能的调控作用；
（3）开展气敏性能长期稳定性测试，利用结构表征手段，揭示薄膜微结构变化与传感器稳定性的关联，探索提高稳定性的方法。
