为了降低晶圆测试成本,晶圆探测钨针的回收利用很重要。在晶圆测试中,锥形的钨针经过多次测试后开始磨损,导致针头的直径越变越大。此时,如果不将含钨针的探测卡(晶圆测试的工具之一)换掉,会影响测试结果的准确性;而换掉,则会增加成本。对此,有研究人员提出一种对这种探针卡的钨针的处理方法。
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晶圆探测钨针的回收利用
准备一含(浓度为3%-7%)氢氧化钠溶液的吸附球(棉球);将棉球接电源负极;准备一棒丝;将棒丝接电源正极;将棉球与钨针的针头接触,将棒丝与钨针的针体接触,从而对钨针的针头进行腐蚀处理。其中,电源的电压值在10-12伏之间。