晶圆探针卡用什么材料的探针？晶圆探针卡用钨针。探针卡是一种用于晶圆测试的工具，通常由一测试电路板和位于电路板上的针尖弯折成95-105度的锥形钨针构成。测试时，将钨探针的针头直接接触被测晶圆的衬垫，从而实现对晶圆的电性能测试。
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测试中，当钨探针针头接触到晶圆衬垫时，探针卡的平台会给出上升标准的高度，在晶圆的衬垫上留下痕迹。因为钨针是锥形的，通过多次测试时磨损，针头的直径为越来越大。常规下，要求探测钨针的针头扎在晶圆衬垫上时，接触面积不能超过晶圆衬垫的四分之一。如果超过该值，该探针卡为必须报废。
