气敏传感器用黄色氧化钨纳米线具有优良的气敏性能。专家表示,如果将黄色氧化钨纳米线与硅纳米线复合获得硅纳米线-氧化钨纳米线复合结构,其界面会形成同型异质结,在NO2气体中,异质结中耗尽层宽度的增长对其气敏性能的提升有着重要的作用。
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硅纳米线-氧化钨纳米线复合结构的制备
有专家采用金属辅助化学刻蚀和纳米球自组装相结合的方法在n型单晶硅片上制备出具有高度有序化阵列的硅纳米线。随后用磁控溅射法在硅纳米线表面淀积一层金属钨薄膜,通过对其进行管式炉热处理,制备了硅纳米线-氧化钨纳米线复合结构。