鎢合金直線加速器通常是指利用高頻電磁場進行加速，同時被加速粒子的運動軌跡為直線的加速器。它按被加速粒子的種類，可分為電子直線加速器、質子直線加速器、重離子直線加速器和超導直線加速器等。
鎢合金直線加速器的功用強大，但是它在治療中產生的輻射也不容小覷。所以在設備中需要防輻射的裝置比如：輻射頭內除一擋用於均整X輻射的均整篩檢程式外，還採用多擋，成為電子輻射分佈均勻的散射篩檢程式。為了調節電子輻射，在電子輻射治療時需附加不同尺寸和不同形狀的限束遮罩裝置。
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