鎢管

鎢管可以採用化學氣相沉積(CVD)製備得到。CVD技術是製備純鎢製品的重要方法。20世紀80年代末,國外已有採用CVD技術製備高緻密度、高純度金屬鎢製品的研究報告。近年來,國內也大量開展了CVD製備鎢塗層的工藝、組織、結構及性能方面的研究。鎢管圖片
採用切環測量法及 X 射線應力分析方法對化學氣相沉積製備的鎢管進行測量與分析。結果表明:
1.鎢管沿圓周方向存在殘餘壓應力。殘餘應力大小隨沉積工藝溫度升高而降低,隨沉積製備鎢管管徑加大而降低。
2.鎢管記憶體在較大的殘餘應力。經退火處理後殘餘應力值下降,應力狀態發生變化。
3.鎢管內表面低凹處萌生裂紋,裂紋沿著柱狀晶晶界向鎢管外壁擴展。

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