鎢箔可以通過電解拋光在硫酸甲醇體系中製備得到,用於狀態方程(EOS)靶等用途。
鎢箔的常用製備方法包括以下兩種方法:
1.沉積法,如蒸發鍍膜、濺射沉積、脈衝鐳射氣相沉積等;
2.機械法,如軋製、金剛石車削、機械研磨拋光等。
採用各種沉積方法製備的鎢箔的表面光潔,但膜的密度較低且沉積速率較慢。軋製和機械研磨拋光在製備過程中,在箔膜表面易產生加工硬化層和殘餘應力,存在嚴重的結晶取向和位錯等問題。另外,因為鎢的高硬度和極端脆性使得機械加工仍存在著較大困難。
所以,電解拋光方法為優選,此法是基於陽極溶解原理去除金屬,適用於任何硬度的金屬,能夠去除表面硬化、缺陷和沾汙問題。