高純納米紫色氧化鎢可以採用鎢氧化物WOx（2≤x≤3）為原料製備得到。
以鎢氧化物WOx（2≤x≤3）為原料，或以製備過程中和/或產物中存在的WOx為原料時，通過進氣口引入NH3和/或H2，並根據WOx的不同而選擇是否通入水蒸氣。如果有引入NH3，高溫下NH3會在WOx催化作用下發生式（1）中反應：
2NH3＝N2+3H2（1）
1.如果WOx包含有WO3。當反應溫度升高到500℃以上時，WO3會與引入的H2發生式（2）中的還原反應：
WO3+0.1H2＝WO2.9+0.1H2O（2）
反應溫度繼續升高到600℃以上時，式（2）中的反應產物WO2.9會與引入的H2發生式（3）中的還原反應。
2.如果WOx包含有WO2.9。當反應溫度繼續升高到600℃以上時，WO2.9會與引入的H2發生式（2）中的還原反應：
WO2.9+0.18H2＝WO2.72+0.18H2O（3）
在式（2）和式（3）中均有水蒸氣產生，如果式（2）和/或式（3）反應產生的水蒸氣量不足時，通過進氣口引入水蒸氣。高溫下式（2）和/或式（3）反應產生的水蒸氣和/或引入的水蒸氣可以與WOx發生可逆反應：
WOx+(4-x)H2O⇌WO2(OH)2+(3-x)H2（4）
通過水合氧化鎢WO2(OH)2氣相遷移，可以使在式（3）中形成的紫色氧化鎢晶核長大成針狀紫色氧化鎢晶體。在WO2(OH)2氣體分壓和溫度適合的情況下，這種紫色氧化鎢針狀晶體的直徑小於100nm。
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