納米藍色氧化鎢需要用到的檢測設備根據檢測方法的不同而有所不同，可能用到的有X射線衍射儀、掃描電子顯微鏡、透射電子顯微鏡、光電子能譜儀和電子能量分析器等。
1.X射線衍射儀，利用X射線衍射原理研究物質內部微觀結構的一種大型分析儀器，其基本構造包含高穩定度X射線源、樣品及樣品位置取向的調整機構系統、射線檢測器和衍射圖的處理分析系統。
2.掃描電子顯微鏡，英文簡稱SEM，主要是利用二次電子信號成像來觀察樣品的表面形態，即用極狹窄的電子束去掃描樣品，通過電子束與樣品的相互作用產生各種效應，其中主要是樣品的二次電子發射。
3.透射電子顯微鏡，英文簡稱TEM，可以看到在光學顯微鏡下無法看清的小於0.2um的細微結構，這些結構稱為亞顯微結構或超微結構。要想看清這些結構，就必須選擇波長更短的光源，以提高顯微鏡的解析度。目前TEM的分辨力可達0.2nm。
4.光電子能譜儀主要由激發源、樣品電離室、電子能量分析器、電子檢測器、真空系統和資料處理系統等組成。激發源常用紫外輻射源和X射線源。使用紫外輻射源作為激發源的稱為紫外光電子能譜，使用X射線的稱為X射線光電子能譜，統稱為光電子能譜。
5.電子能量分析器，主要是用來測量由樣品表面發射出來的能量分佈，所得光電子譜是一幅電子流強度相對於動能的圖。
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