光學級三氧化鎢是一種細微性可以達到光學級別（10-8數量級）的淡黃色粉末，純度可以達到99.99%，遇熱則變為深橙色，遇冷時恢復原色。
用溶膠-凝膠法和直流反應磁控濺射法製備了表面均勻緻密的三氧化鎢薄膜，並用雙光束紫外可見分光光度計和X衍射分別對薄膜的透光性、結構形態進行了測定，觀察退火溫度對薄膜透光性和結構形態的影響，結果表明：
1.在高溫（溫度高於300℃）退火處理後，薄膜的透光率下降，且退火溫度越高，其透光率越低。
2.在350℃以下退火處理後得到薄膜樣品為非晶態。在350~400℃範圍內退火處理，樣品由非晶態向晶態轉變。
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