超微鎢粉是晶粒超微細化的鎢粉，具有組織均勻、塑性良好的優點，通常以鎢酸銨溶液為原料，採用超聲噴霧乾燥法製備。
目前製備超微鎢粉的方法很多，噴霧乾燥法是其中重要的一種。噴霧乾燥法製備前驅體粉末有許多優點，如工藝簡單、無污染、成分均勻等，適合大批量生產。噴霧乾燥法亦稱熱化學合成法，它是將溶液通過物理手段進行霧化獲得超微粒子的一種化學與物理相結合的方法，其過程包括原始溶液的製備與混合、溶液調配、噴霧乾燥和後續處理4個階段。
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