六氟化鎢是什麽?

與六氯化鎢(WCl6)一樣,六氟化鎢也是由過渡金屬鎢元素和鹵族元素組成的一種化合物,均具有良好的物理化學性質,廣泛應用于化工領域。但是,二者在外觀、性質、生産方法和具體用途上存在較大區別,例如,六氯化鎢是一種帶有藍紫色的黑色結晶,而六氟化鎢在常溫常壓下爲淡黃色液體,其固態爲易潮解的無色結晶,氣態爲無色。注:鹵族元素是指周期表中的ⅦA族元素,包括氟、氯、溴、碘、砹等;其中氟位于第二周期VII族,比氯元素活潑,而氯位于第三周期VII族。

六氟化鎢圖片

從化學成分上看,六氟化鎢是由1個鎢原子和6個氟元素組成的一種無機物,英文名爲Tungsten Hexafluoride或Tungsten Fluoride,化學式爲WF6,分子量爲297.92,CAS號爲7783-82-6,EINECS登錄號爲232-029-1。

理化性質方面,六氟化鎢的外觀爲淡黃色液體、無色晶體或無色氣體,空氣中不燃燒,熔點約2.5℃,沸點約17.5℃,液體密度約3441kg/m3,氣體密度約12.7kg/m3,相對密度約9.96kg/m3,臨界溫度約169.8℃,臨界壓力約4265.8kPa,臨界密度約 1310kg/m3,壓縮係數(50℃,10kPa)約0.997,蒸氣壓(-20℃)約14.186kPa,蒸發熱約87.9745kJ/kg,升化熱約122.5459kJ/kg。

六氟化鎢結構圖

另外,六氟化鎢還可溶于大多數有機溶劑,并使它們著色(苯、環己烷爲紅色,乙醚爲褐紫色,乙醇爲無色,等等),還具有較强的吸濕性、氧化性和腐蝕性,能腐蝕除金和鉑外的所有金屬以及潮濕條件下的玻璃。值得一提的是,WF6的毒性主要是由氟引起的,水解産物氟化氫强烈刺激皮膚、眼和呼吸道粘膜,還損傷肝、腦神經系統以及骨胳和牙齒。

高純六氟化鎢的生産步驟:先將粗WF6進行蒸發,然後將含有揮發性雜質的WF6進行氣相吸附,得到半粗WF6産品,最後將半粗WF6送入UHP氣體鼓泡系統,除去揮發性雜質,即可得到所需要的産品

六氟化鎢主要用途:WF6是一種强氟化劑,可用于氣相沉積法制鎢膜;在微電子工業中用作化學氣相澱積矽化鎢或鎢,以製作低電阻、 高熔點的互連綫。

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