六氟化鎢（Tungsten Hexafluoride，WF6）是由過渡金屬鎢元素和活潑非金屬氟元素組成的一種無色氣體，是用于微電子學生産過程中鎢的化學蒸氣沉積的一種氣源，具有較大的密度、較强的腐蝕性和毒性等特點，主要應用于半導體工業的化學氣相沉積工藝中，以沉積鎢金屬。然而，當前的生産技術却很難生産出高純度WF6。
高純六氟化鎢圖片
爲了製備出超高純度（99.9999%）且製造費用較低的六氟化鎢産品，專利號爲CN1281823A的研究者提出一種新的生産方法，具體步驟如下：
先將一定量的粗六氟化鎢引入一個蒸發過程，用以分離成爲一定量的含有揮發性雜質的WF6和一定量的非揮發性的金屬雜質；然後，將該一定量的含有揮發性雜質的WF6通過一個氣相吸附過程，用以分離成爲一定量的半粗WF6産品和一定量的作爲被吸附殘餘物的氟化氫；最後，將該一定量的半粗WF6送入一個UHP氣體鼓泡系統，用以分離爲非揮發的高純六氟化鎢産品。
高純六氟化鎢圖片
值得一提的是，粗六氟化鎢一般是純度爲99%的WF6，且含有大于1ppmv的氟化氫。另外，UHP氣體鼓泡系統在溫度高于3℃，壓力大于0.5atm下操作，采用脉衝吹掃程序。
該生産技術的純化是基于蒸發、氣相活性吸附系統和鼓泡系統的結合。蒸發是爲了從粗六氟化鎢中除去非揮發性殘餘物。采用的氣相反應性吸附床是爲了從WF6中除去氟化氫和氟化矽雜質。采用的鼓泡系統是爲了從産品中除去揮發性雜質。
版權及法律問題聲明
本文信息由中鎢在綫®（www.cadenzbicycles.com，news.chinatungsten.com）根據各方公開的資料和新聞收集編寫，僅爲向本公司網站、微信公衆號關注者提供參考資料。任何异議、侵權和不當問題請向本網站反饋，我們將立即予以處理。未經中鎢在綫授權，不得全文或部分轉載，不得對文件所載內容進行使用、披露、分發或變更；儘管我們努力提供可靠、準確和完整的信息，但我們無法保證此類信息的準確性或完整性，本文作者對任何錯誤或遺漏不承擔任何責任，亦沒有義務補充、修訂或更正文中的任何信息；本文中提供的信息僅供參考，不應被視爲投資說明書、購買或出售任何投資的招攬文件、或作爲參與任何特定交易策略的推薦；本文也不得用作任何投資决策的依據，或作爲道德、法律依據或證據。
