鎢針是以難熔金屬鎢粉爲主要原料，鎳粉或鐵粉爲輔助材料的一種合金産品；是鎢棒通過拉拔機械加工，製成所需要尺寸和形狀的物體，是電子微探針中一種常用的探針材料。
清華大學微電子所EPS4型探針台
電子微探針是結合運用電子顯微鏡技術和X射綫分光技術的電子光學式分析儀器，主要利用X射綫熒光進行定性和定量分析，廣泛用于礦物、冶金、機械、電子和生物學等領域，尤其適用于對合金的顯微組織和相成分的研究分析。
使用鎢針做探針材料的優勢在于提高電子光學式分析儀器的靈敏度、穩定性、精確性和準確性等。
具體來說，鎢針因具有比其他金屬探針更高的熔點（3422℃）和更好的耐高溫性能，而可以在高溫的條件下穩定工作，同時能承受得了較高的電流密度和能量密度，有利于提高探針的靈敏度和穩定性。
鎢針因具有很好的化學穩定性和耐腐蝕性，即對氧氣、水蒸氣和其他氣體不敏感，以及不易與其他物質發生化學反應的現象，而有利于提高探針的精確性和準確性，以及降低更換新探針的頻率。
中鎢在綫鎢針圖片
鎢針因具有高密度、小體積、高强度、良好剛性、不易變形或折斷的優點，而有利于探針與樣品之間距離的調整，同時有利于延長探針材料的使用壽命。
另外，鎢針由于直徑較小，通常在0.1-1微米之間，而方便操作，可以使探針在微小的區域進行分析，尤其適合于納米級別的材料表面分析。
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