三氧化鎢(WO3)是一種n型寬禁帶半導體材料,具有電致發光等性能,能用來製作電阻元件。三氧化鎢氣敏感測器是一種將檢測到的氣體成分和氣體濃度轉換為電信號的感測器。
三氧化鎢基氣敏感測器,具有靈敏度高、回應速度快、成本低等優點,被廣泛應用有害、有毒、易燃、易爆等氣體進行檢測和檢驗。
例如:WO3與被測氣體(NOx、H2、CO、NH3、C2H5OH等)中時,從空氣中吸附的氧作為一種電子的受主態處於WO3材料的禁帶,氣體在其表面的反應導致了受主態在部分表面覆蓋度的變化,從而引起了電導率的變化。
三氧化鎢氣敏感測器的生產工藝有溶膠凝膠法、真空熱蒸法、脈衝鐳射沉積、絲網印刷等。
目前,環境空氣品質已經引起了人們的廣泛關注。為了保護和改善環境提高空氣品質,人們迫切地需要研發高靈敏度、低成本、易維護的氣體感測器,從而有效地對有害、有毒、易燃、易爆等氣體進行檢測和檢驗,化學氣感測器因此成為目前研究的熱點。化學氣體感測器種類很多,其中金屬氧化物半導體氣體感測器由於具有靈 敏度高、回應快、成本低等優點而被廣泛研究。
從英國開始第一次工業革命開始,工業化就對環境空氣品質造成嚴重的破壞。近些年來,人們保護環境的意識不斷提高,對空氣品質的要求也變高了,除了要改善空氣品質之外,也對有害、有毒、易燃、易爆等氣體進行檢測和檢驗。三氧化鎢氣敏感測器因具有靈敏度高、回應快、成本低等優點,而被廣泛應用。