缺氧態氧化鎢是一種顆粒極其細小、分佈較為均勻的過渡金屬化合物材料，具有顯著的表面效應、量子尺寸效應等特點，能夠很好地用來作為電極材料的添加劑，使之有更強的鋰離子吸附能力，從而進一步升高可充電鋰電池容量，並使其擁有更廣闊的用途。
從目前的社會來看，正處於蓬勃發展的新能源汽車更適合搭載含有缺氧態氧化鎢材料的鋰電池，以提高續航里程。那麼，缺氧態氧化鎢應如何製備呢？缺氧態氧化鎢光催化劑製備方法:先通過真空熱蒸發法製備出氧化鎢，然後對氧化鎢進行高溫缺氧處理，生成缺氧態氧化鎢光催化劑。具體步驟如下：
將鎢源接入真空熱蒸發鍍膜機的蒸發電極，再將襯底放置於距離鎢源2～100毫米處；(2)開啟機械泵對真空鍍膜腔體進行抽真空20分鐘；(3)往真空鍍膜腔體內通入氧氣和惰性氣體（比例為1:80～100），等腔體內壓強穩定後，保持20分鐘；(4)持續往真空鍍膜腔體內通入氧氣和惰性氣體，打開熱蒸發電源，加熱鎢舟至1200℃或以上，然後保溫20分鐘，使鎢舟表面氧化、昇華為氣相氧化鎢層，接著在襯底上生長出固相氧化鎢；(5)關閉氧氣閥，中斷氧氣供給，以1200℃或以上進行高溫缺氧處理10分鐘；(6)關閉熱蒸發電源，使襯底在真空鍍膜腔體內冷卻至室溫，於是在襯底上生長出缺氧態氧化鎢光催化劑。
