三氧化鎢可以用於生產隔熱玻璃。因而，需要對該種光致變色材料的製備及性質進行深入研究。
1980年，首先以真空蒸鍍法，通過改變真空度製備了HxWO3-y膜；而後用濺射法，在Ar-O2（製備純的亞化學計量膜），Ar-O2-H2和Ar-O2-H2O（改變三氧化鎢氫氧組成）三種不同反應氣氛下濺射，製備了HxWO3-y膜。
通過對三氧化鎢膜在著脫色過程中H+的影響進行研究，確定薄膜最佳光致變色性質時的x、y值，並為三氧化鎢變色機理提供了依據。此後許多學者採用該方法製備三氧化鎢膜，並對WO3的結構類型（無定型、多晶）和測試氣氛對光致變色效果的影響、可見光一下的變色性質、以及光致變色過程中的電荷轉移等進行了研究。但由於真空蒸鍍法和濺射法設備昂貴、技術複雜，製備複雜分子結構膜和有序膜，難於控制膜厚和粒徑，且不易大面積生產均勻的薄膜等缺點使其很難廣泛應用。
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