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| 作者：钨制品生产商、供应商-厦门中钨在线 文章来源：网络转载 更新时间：2015-10-23 8:45:47 |
三氧化钨薄膜在气敏传感器的应用
【中钨在线新闻网-钨新闻】
气敏传感器是一种用于检测特定气体的传感器，其在生物、化学、航空航天、军事等领域得到了较为广泛的应用。气敏传感器可以将被检测气体的种类，浓度以及与浓度有关的信息转变为电信号，然后根据这些电信号的特征和强弱来判断可检测气体在被检测环境中存在的有关情况，从而到达检测，监控和报警的目的。同时，还可以将检测到的电信号电路接口与计算机相连接，组成自动的检测、监控和报警系统。wo3是一种常见的气敏材料，对易挥发有机气体(包括乙醇、甲醇、甲烷、甲醛、丙酮等)、氮化物、碳化物、硫化氢、臭氧、氨气和氢气等有很高的灵敏度，使其在气敏检测方面得到了研究者的深度关注，被认为是最有前景的新型过渡金属氧化物半导体气敏材料之一。WO3的薄膜主要应用有瓦斯气体检测报警器，呼吸中乙醇的检测，室内煤气检测，氟利昂(R11,R12)的检测等。随着环境监测和工业的需要，WO3作为主要的气敏传感器监测材料有着非比寻常的优点。
WO3基材料作为气敏材料的应用是美国人Shaver在1967年开始的，他们通过真空蒸发钨薄膜，再经过600-700℃的高温加热得到了三氧化钨薄膜，然后再喷涂少量的Pt来提高WO3的气敏性能。M.Stankova等人采用溅射法沉积W03并掺杂了七种不同的物质，测试了对H2S,N02,NH3,CO,CH4气体在不同温度，不同浓度下的气敏性能，实验结果表明掺杂能提高WO3对某些有害气体的气敏性育旨。
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