³¬Ó²²ÄÁϹ¤Òµ·¢Õ¹µÄ²ÄÁÏÇ÷ÊÆ
¡¾ÖÐÎÙÔÚÏßÐÂÎÅÍø-ÎÙÐÂÎÅ¡¿
(1)CVD²ÄÁϲúÒµ»¯
¡¡¡¡CVD½ð¸Õʯ±¡Ä¤Éú³¤¼¼ÊõµÄÑо¿Ê¼ÓÚÉÏÊÀ¼Í80Äê´úÖÐÆÚ£¬´Ó90Äê´úºóÆÚÖÁ½ñ£¬¸÷ÀàÓÃ;µÄCVD½ð¸Õʯ²ÄÁϼ°ÆäÖÆÆ·ÒѾ¿ªÊ¼¹¤Òµ»¯Éú²ú£¬ÆäÓ¦ÓÃÇ°¾°ºÍDZÔÚÊг¡¼«Îª¹ã·º¡£
¡¡¡¡CVD½ð¸ÕʯÒѳÉΪ¼Ó¹¤Òµ¡¢Æû³µ¡¢ÐÅÏ¢¡¢ÄÜÔ´ÁìÓòÒÔ¼°¹ú·À¡¢¾ü¹¤ºÍ¼â¶Ë¼¼ÊõµÄ¹Ø¼ü²ÄÁÏ¡£Òò´Ë£¬¼Ó¿ìCVDÉú³¤¼¼ÊõÑо¿¼°Æä²úÒµ»¯£¬ÊÇÎÒÐÐÒµµ±Ç°¼±Ðè½â¾öµÄÏÖʵÎÊÌâ¡£
¡¡¡¡(2)½ð¸ÕʯµÄ¹¦ÄÜÐÔÑо¿ÓëÓ¦ÓÃ
¡¡¡¡½ð¸Õʯ³ýÁËÓÅÒìµÄ»úеÐÔÄÜÍ⣬»¹¾ßÓкܶà׿ԽÎïÀí»¯Ñ§ÐÔÄÜ¡£È磺½ð¸ÕʯµÄµ¼ÈÈÐԺ㬿ÉÓÃÓÚ΢²¨Æ÷¼þ¡¢´ó¹¦ÂʹÌÌ弤¹âÆ÷¡¢É¢ÈÈƬºÍ´ó¹æÄ£¼¯³Éµç·µÈ;½ð¸Õʯ¾§ÌåµÄµç×ÓÇ׺ÍÊÆС£¬ÊÇÀíÏëµÄ³¡·¢ÉäÒõ¼«²ÄÁÏ£¬¿ÉÓÃÓÚÀäÒõ¼«³¡·¢ÉäÆ÷¼þ;ͬʱ½ð¸ÕʯÓÖÊÇÒ»ÖÖ¿í´ø(Eg=5.5eV)¡¢»÷´©µçѹ(107V)ºÍ±¥ºÍµçÁ÷(2.7¡Á107cm s-1)¶¼Ô¶Ô¶¸ßÓÚSi¡¢ GaAs¡¢ InPµÈ³£Óõİ뵼Ìå²ÄÁÏ£¬½áºÏÆäÓÅÒìµÄ¸ßÎÂÐÔÄÜ£¬ÔÚ΢µç×ÓÁìÓò£¬»ùÓÚ½ð¸ÕʯµÄ¼¯³Éµç·ÊÇÏÖÓйè»ù¼¯³Éµç·ǿÓÐÁ¦µÄ¾ºÕùÕß¡£Óýð¸ÕʯÖÆÔìµÄ¶Ô¶¥Õè(DAC)ÊǸßѹÎïÀí¡¢¸ßѹ»¯Ñ§Ñо¿²»¿ÉȱÉÙµÄÊÖ¶Î;½ð¸Õʯ´ÓÉî×ÏÍâµ½Ô¶ºìÍâȫ͸Ã÷£¬¿ÉÓ¦ÓÃÓÚѲº½µ¼µ¯ºìÍâ̽²âÆ÷µÄ´°¿Ú¡¢¼¤¹â´°¿Ú²ÄÁÏ¡¢Í¸¾µ²ÄÁÏ£¬ºÍ¹âѧ±£»¤Í¿²ã;»¹¿ÉÓÃÀ´×÷°ëµ¼ÌåÈÈÚå¡¢ÈÈÃôµç×è¼°¸ßÁéÃôζȼơ£¼ÓÇ¿½ð¸Õʯ¹¦ÄÜÐÔÑо¿ÓëÓ¦ÓÃÊÇÐÐҵδÀ´¿É³ÖÐø·¢Õ¹µÄ¼¼Êõ±£ÕÏ¡£
¡¡¡¡(3)Á¢·½µª»¯ÅðµÄ¹¦ÄÜÐÔÑо¿Ó뿪·¢
¡¡¡¡Á¢·½µª»¯Åð¾§Ìå(CBN)¾ßÓÐ6.4eV×î¿íµÄÖ±½Ó´ø϶£¬ÊÇÒ»ÖÖÊ®·ÖÓÅÒìµÄ°ëµ¼Ìå²ÄÁÏ£¬ËüÔÚ¸ßθ߹¦ÂÊ¿í´øÆ÷¼þ΢µç×ÓѧÁìÓòÓÐ׏㷺µÄÓ¦ÓÃÇ°¾°¡£Á¢·½µª»¯ÅðÄܲúÉú¶þ½×·ÇÏßÐÔ¹âѧЧӦ£¬¿ÉÒÔÓÃÓÚ¹âµÄ¸ß´Îг²¨·¢ÉúÆ÷¡¢µç¹âµ÷ÖÆÆ÷¡¢¿É¼û-×ÏÍâ¹âת»»Æ÷¡¢¹âѧÕûÁ÷Æ÷¡¢¹â²ÎÁ¿·Å´óÆ÷µÈµÈ¡£´ËÍ⣬Á¢·½µª»¯ÅðÓë½ð¸ÕʯһÑù»¹¾ßÓкÜÇ¿µÄ¿¹·øÉäÄÜÁ¦£¬¿ÉÓÃÓÚ¿¹·øÉäÆ÷¼þ¡£Òò´Ë£¬¶ÔÁ¢·½µª»¯Åð²ÄÁϹ¦ÄÜÐÔµÄÑо¿Ó뿪·¢ÓÐ×ÅÖØÒªµÄÏÖʵÒâÒå¡£
¡¡¡¡(4)¸ß¶ËPDC¼±´ýÍ»ÆÆ
¡¡¡¡Ä¿Ç°¹úÄÚPDC×ÜÌåÓÐÁËÃ÷ÏԵĽø²½£¬¿É¹©ÀË¿Ä£¡¢ÃºÌï×ê²É¡¢ºÍÒ»°ãµÄʯÓÍ×ê²ÉÓᣵ«´óÖ±¾¶PDC¡¢Éî¿××ê½øÓÃPDC£¬¸ßËÙ¡¢¸ßÊÙÃüµ¶¾ßPDC»¹ÎÞ·¨Óë¹úÍ⾺Õù£¬ÎÒ¹úó{¶ËPDCÈÔÈ»¿¿½ø¿Ú£¬ÕâÖÖ¾ÖÃæ±ØÐ뾡¿ì½â¾ö¡£
¡¡¡¡(5)ÐÂÐͳ¬Ó²²ÄÁϵÄÑо¿
¡¡¡¡Ñ°ÕÒ¸ßÓ²¶È¡¢¸ß»¯Ñ§¶èÐԺ͸ßÈÈÎȶ¨ÐÔµÄÐÂÐÍÀ೬Ӳ²ÄÁÏÊdz¬Ó²²ÄÁÏÑо¿ÁìÓòµÄÈȵãÎÊÌâ¡£Èç¹û´ÓÀíÂÛÉè¼ÆµÄ½Ç¶È³ö·¢Éè¼ÆÐÂÐͳ¬Ó²²ÄÁÏ£¬ÔÙͨ¹ýʵÑé½øÐÐÑéÖ¤Äܹ»¿ª·¢³öÐÂÐ͵ij¬Ó²²ÄÁÏ£¬½«Ê¹Ëü¼æÓнð¸ÕʯºÍÁ¢·½µª»¯ÅðÕâÁ½ÖÖ³¬Ó²²ÄÁϵÄÓŵ㣬¿Ë·þËüÃǵÄȱµã£¬±ØÈ»½«³ÉΪÐÂÒ»´úµÄ³¬Ó²²ÄÁÏ£¬¾ßÓйãÀ«µÄÓ¦ÓÃÇ°¾°¡£
¡¡¡¡(6)±¦Ê¯¼¶½ð¸ÕʯµÄÑз¢
¡¡¡¡20ÄêÀ´£¬±¦Ê¯¼¶½ð¸ÕʯºÏ³É¼¼Êõ·½ÃæÈ¡µÃÁ˳¤×ãµÄ½øÕ¹¡£1990Ä꣬ÈÕ±¾µÄסÓѵçÆø¹«Ë¾£¬Óôó¾§ÖÖ·½·¨Éú³¤³ö9¿ËÀIbÐͽð¸Õʯµ¥¾§£¬Éú³¤ËÙ¶ÈÌá¸ßµ½15mg/h;1996Ä꣬De Beers¹«Ë¾ÓÃ1000hºÏ³É³öÖØÁ¿´ï25¿ËÀµÄÓÅÖÊIbÐͽð¸Õʯµ¥¾§£¬´ú±íÁ˵±½ñ±¦Ê¯¼¶½ð¸ÕʯµÄÅàÓý×î¸ß¼¼Êõˮƽ¡£ÃÀ¹ú¿¨ÄÚ»ùÑо¿ÔºµØÇòÎïÀíʵÑéÊÒÓÚ1998Ä꿪ʼCVDµ¥¾§½ð¸ÕʯÅàÓý¼¼ÊõµÄ¿ª·¢£¬2004ÄêÉú³¤³ö¶Ô½Ç³¤10mm¡¢ºñ4.5mmµÄµ¥¾§½ð¸Õʯ£¬Éú³¤ËÙ¶È100¦Ìm/h¡¢×î¸ßËٶȴﵽ300¦Ìm/h£¬ËùµÃµ½µÄµ¥¾§³ÊºÖÉ«£¬¾¸ßθßѹ´¦ÀíºóΪÎÞÉ«£¬2005ÄêÉú³¤³ö10¿ËÀµÄ͸Ã÷µ¥¾§½ð¸Õʯ¡£
¡¡¡¡Ä¿Ç°£¬ÎÒ¹úÖÐÄÏ×êʯÓÐÏÞ¹«Ë¾¡¢»ÆºÓÐý·ç¹É·ÝÓÐÏÞ¹«Ë¾¡¢½¹×÷»ª¾§×êʯÓÐÏÞ¹«Ë¾µÈ£¬ÔÚÒÑÄÜÉú²ú4mm×óÓҵĽð¸Õʯ´óµ¥¾§¡£»ÆºÓÐý·ç¹É·ÝÓÐÏÞ¹«Ë¾ÒѾÅàÓý³ö10mmµÄ±¦Ê¯¼¶´óµ¥¾§½ð¸Õʯ;¼ªÁÖ´óѧ¿ÉÒÔÉú²ú0.8ctµÄ±¦Ê¯¼¶ÓÅÖÊ´óµ¥¾§¡£ÔÚ´Ë»ù´¡ÉÏ£¬ÎÒÃÇÓ¦¼ÌÐø¼ÓÇ¿¶Ô±¦Ê¯¼¶ÈËÔì½ð¸ÕʯµÄºÏ³É·½·¨¼°¹¤ÒÕ¼¼Êõ½øÐÐÉîÈëÑо¿Ó뿪·¢¡£
¡¡¡¡(7)ÄÉÃ×½ð¸Õʯ²úÒµ»¯¼°Ó¦Óÿª·¢
¡¡¡¡ÄÉÃ×½ð¸Õʯ³ýÁ˾ßÓнð¸ÕʯµÄÒ»°ãÌØÐÔÍ⣬ͬʱ»¹¾ßÓÐÄÉÃײÄÁϵÄÌØÐÔ£¬ÔÚ¸´ºÏ¶Æ²ã¡¢ÑÐÄ¥¡¢Å׹⡢È󻬡¢ÃÜ·â¡¢¸ßÇ¿Ê÷Ö¬ºÍÏ𽺵ÈÁìÓòµÃµ½Á˹㷺µÄÓ¦Óã¬ÏÔʾ³öÁ¼ºÃµÄÓ¦ÓÃÇ°¾°£¬ÎÒÃDZØÐë¸ß¶ÈÖØÊÓÄÉÃ×½ð¸Õʯ²úÒµ»¯¼°ÆäÓ¦Óã¬Í¬Ê±¹Ø×¢ÄÉÃ×Á¢·½µª»¯ÅðµÄÑз¢¡£
¡¡¡¡(8)¼ÓËÙÔ¸¨²ÄÁϵĸĽøÓëÑз¢
¡¡¡¡´«Ñ¹½éÖÊ¡¢¶¥´¸Ñ¹¸×¡¢´¥Ã½ºÏ½ð¡¢Ì¿Ô´²ÄÁϼ°µª»¯ÅðÔÁÏÊdz¬Ó²²ÄÁÏÉú²ú²»¿É»òȱµÄÎå´óÖ§Öù£¬ÎªÁËÊÊÓ¦ÎÒ¹ú³¬Ó²ÐÐÒµ¿É³ÖÐø·¢Õ¹µÄÐèÒª£¬±ØÐë¼ÓËÙÔ¸¨²ÄÁϵĸĽøÓëÑз¢£¬×¥½ôÑÐÖÆÐÂÐÍ´«Ñ¹½éÖÊ¡¢ÄÉÃסªÑÇÄÉÃ×Ìú»ùÖÆÆ·½ðÊô·Û¡¢ÐÂÐÍÌ¿Ô´²ÄÁϼ°ÓÅÖʵª»¯Åð£¬ÌرðÊÇÓ²ÖʺϽð¼þµÄÅäÌ׸ú½øÓÈΪÖØÒª¡£
ÎÙîâÖÆÆ·Éú²úÉÌ¡¢¹©Ó¦ÉÌ£ºÖÐÎÙÔÚÏ߿Ƽ¼ÓÐÏÞ¹«Ë¾
ÏêÇé²éÔÄ£ºhttp://www.chinatungsten.com
¶©¹ºµç»°£º0592-5129696¶ÌÐÅ×Éѯ£º15880262591
µç×ÓÓʼþ£ºsales@chinatungsten.com
ÎÙͼƬÍøÕ¾£ºhttp://image.chinatungsten.com
ÎÙÊÓƵÍøÕ¾£ºhttp://v.chinatungsten.com
ÎÙÐÂÎÅ¡¢¼Û¸ñÊÖ»úÍøÕ¾£¬3G°æ£ºhttp://3g.chinatungsten.com |