华灿光电追加订购Veeco的MOCVD设备生产LED
日前，VECO宣布中国领先的LED制造商之一，华灿光电股份有限公司追加订购了TurboDisc®MaxBright®GaN MOCVD设备来大批量生产用于显示器和普通照明的发光二级管(LEDs)。该订单下于2012年的第三季度，订购的是Veeco的最新高产能版设备(MHP)。
华灿光电的总裁刘榕博士表示：“Veeco的设备能提供稳定的工艺，已经帮助我们成功地生产出了高品质、高亮度的LEDs。新增的MaxBright MHP机台，由于可以从现有的Veeco机台无缝工艺转移，我们生产线的产能可以获得迅速增加。”
Veeco高级副总裁Jeff Hawthorne表示：“我们很荣幸华灿光电再次选择Veeco技术来满足生产需求，MaxBright MHP设备能在降低生产成本的同时，有助于推动客户的生产力和良率。”
关于TurboDisc MaxBright MPH氮化镓MOCVD多反应腔设备
MaxBright MHP设备是业内生产效率最高的MOCVD设备，该设计旨在生产高品质、高亮度LED。与MaxBright相比，晶圆内波长均匀性提高了20%，增加了维修便利性，而且厂房利用率提高了15%。通过改善热性能和流动性，良率得以提高。该设备采用了Veeco已经生产验证的UniformFlowFlange?技术和自动化经验，将多个高产能的MOCVD反应腔组合成模块化的2-或4-的集群构架。
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