½ðÊôÄ£¾ß±íÃ泬Ӳ»¯´¦Àí¼¼Êõ¼ò½é
½ðÊôÄ£¾ß±íÃ泬Ӳ»¯´¦Àí¼¼Êõ¼ò½é
¡¡Ò»¡¢À©É¢·¨½ðÊô̼»¯Î︲²ã¼¼Êõ½éÉÜ
¡¡¡¡
¡¡¡¡1¡¢¼¼Êõ¼ò½é
¡¡¡¡
¡¡¡¡À©É¢·¨½ðÊô̼»¯Î︲²ã¼¼ÊõÊǽ«¹¤¼þÖÃÓÚÌØÖÖ½éÖÊÖУ¬¾À©É¢×÷ÓÃÓÚ¹¤¼þ±íÃæÐγÉÒ»²ãÊý΢Ã×ÖÁÊýʮ΢Ã׵ĽðÊô̼»¯Îï²ã¡£
¡¡¡¡
¡¡¡¡¸Ã̼»¯Îï²ã¾ßÓм«¸ßµÄÓ²¶È£¬HV¿É´ï1600~3000(ÓÉ̼»¯ÎïÖÖÀà¾ö¶¨)£¬´ËÍ⣬¸Ã̼»¯ÎïÂIJãÓë»ùÌåÒ±½ð½áºÏ£¬²»Ó°Ï칤¼þ±íÃæ¹â½à¶È£¬¾ßÓм«¸ßµÄÄÍÄ¥¡¢¿¹Ò§ºÏ(Õ³½á)¡¢ÄÍÊ´µÈÐÔÄÜ£¬¿É´ó·ù¶ÈÌá¸ß¹¤Ä£¾ß¼°»úеÁã¼þµÄʹÓÃÊÙÃü¡£
¡¡¡¡
¡¡¡¡2¡¢ÓëÏà¹Ø¼¼ÊõµÄ±È½Ï
¡¡¡¡
¡¡¡¡Í¨¹ýÔÚ¹¤¼þ±íÃæÐγɳ¬Ó²»¯ºÏÎïĤ²ãµÄ·½·¨£¬ÊÇ´ó·ù¶ÈÌá¸ßÆäÄÍÄ¥¡¢¿¹Ò§ºÏ(¿¹Õ³½á)¡¢ÄÍÊ´µÈÐÔÄÜ£¬´Ó¶ø´ó·ù¶ÈÌá¸ßÆäʹÓÃÊÙÃüµÄÓÐЧ¶ø¾¼ÃµÄ·½·¨¡£Ä¿Ç°£¬¹¤¼þ±íÃ泬Ӳ»¯´¦Àí·½·¨Ö÷ÒªÓÐÎïÀíÆøÏà³Á»ý(PVD)£¬»¯Ñ§ÆøÏà³Á»ý(CVD)£¬ÎïÀí»¯Ñ§ÆøÏà³Á»ý(PCVD)£¬À©É¢·¨½ðÊô̼»¯ÎïÂIJ㼼Êõ£¬ÆäÖУ¬PVD·¨¾ßÓгÁ»ýζȵͣ¬¹¤¼þ±äÐÎСµÄÓŵ㣬µ«ÓÉÓÚĤ²ãÓë»ùÌåµÄ½áºÏÁ¦½Ï²î£¬¹¤ÒÕÈƶÆÐÔ²»ºÃ£¬ÍùÍùÄÑÒÔ·¢»Ó³¬Ó²»¯ºÏÎïĤ²ãµÄÐÔÄÜÓÅÊÆ¡£CVD·¨¾ßÓÐĤ»ù½áºÏÁ¦ºÃ£¬¹¤ÒÕÈƶÆÐԺõÈÍ»³öÓŵ㣬µ«¶ÔÓÚ´óÁ¿µÄ¸ÖÌú²ÄÁ϶øÑÔ£¬ÆäºóÐø»ùÌåÓ²»¯´¦Àí±È½ÏÂé·³£¬ÉÔÓв»É÷£¬Ä¤²ã¾ÍÒ×ÆÆ»µ¡£Òò´ËÆäÓ¦ÓÃÖ÷Òª¼¯ÖÐÔÚÓ²ÖʺϽðµÈ²ÄÁÏÉÏ¡£PCVD·¨³Á»ýζȵͣ¬Ä¤»ù½áºÏÁ¦¼°¹¤ÒÕÈƶÆÐÔ¾ù½ÏPVD·¨Óнϴó¸Ä½ø£¬µ«ÓëÀ©É¢·¨Ïà±È£¬Ä¤»ù½áºÏÁ¦ÈÔÓнϴó²î¾à£¬´ËÍâÓÉÓÚPCVD·¨ÈÔΪµÈÀë×ÓÌå³ÉĤ£¬ËäÈ»ÈƶÆÐÔ½ÏPVD·¨ÓÐËù¸ÄÉÆ£¬µ«ÎÞ·¨Ïû³ý¡£
¡¡¡¡
¡¡¡¡ÓÉÀ©É¢·¨½ðÊô̼»¯Î︲²ã¼¼ÊõÐγɵĽðÊô̼»¯Î︲²ã£¬Óë»ùÌåÐγÉÒ±½ð½áºÏ£¬¾ßÓÐPVD¡¢PCVDÎÞ·¨±ÈÄâµÄĤ»ù½áºÏÁ¦£¬Òò´Ë¸Ã¼¼ÊõÕæÕýÄܹ»·¢»Ó³¬Ó²Ä¤²ãµÄÐÔÄÜÓÅÊÆ£¬´ËÍ⣬¸Ã¼¼Êõ²»´æÔÚÈƶÆÐÔÎÊÌ⣬ºóÐø»ùÌåÓ²»¯´¦Àí·½±ã£¬²¢¿É¶à´ÎÖظ´´¦Àí£¬Ê¹¸Ã¼¼ÊõµÄÊÊÓÃÐÔ¸üΪ¹ã·º¡£
¡¡¡¡
¡¡¡¡3¡¢¼¼ÊõÓÅÊÆ
¡¡¡¡
¡¡¡¡À©É¢·¨½ðÊô̼»¯Î︲²ã¼¼ÊõÔÚÈÕ±¾¡¢Å·ÖÞ¸÷¹ú¡¢°Ä´óÀûÑÇ¡¢º«¹úµÈ¹úÓ¦Óù㷺¡£¾Ýµ÷²é£¬Ðí¶à½ø¿ÚÉ豸ÉϵÄÅäÌ×Ä£¾ß´óÁ¿µØʹÓÃÁ˸ü¼Êõ£¬ÕâЩģ¾ßÔÚ½øÐйú²ú»¯Ê±£¬ÓÉÓÚȱ·¦ÏàÓ¦µÄ³ÉÊì¼¼Êõ£¬ÍùÍùʹģ¾ßÊÙÃüµÍ£¬ÓÐЩÉõÖÁÎÞ·¨¹ú²ú»¯¡£
¡¡¡¡
¡¡¡¡¸Ã¼¼Êõ¹úÄÚÆßÊ®Äê´ú¾ÍÓÐÈËÑо¿¹ý£¬µ«ÓÉÓÚ¸÷·½ÃæÌõ¼þµÄÏÞÖÆ£¬¹¤ÒÕ¼°É豸ÍùÍùÄÑÒÔ¾¹ýÅúÁ¿ºÍ³¤ÆÚÉú²úµÄ¿¼Ñ飬ʹ¸Ã¼¼ÊõÖеÄһЩʵ¼Ê´æÔÚµÄÎÊÌâ²»Ò×±©Â¶»òÄÑÒÔ½â¾ö£¬ÍùÍù°ë;¶ø·Ï¡£ÎÒÃÇÔÚÊ®¶àÄêµÄÑо¿ÓëÓ¦ÓõĹý³ÌÖУ¬¶Ô¸Ã¼¼Êõ´æÔڵŤÒÕ¡¢É豸ÉϵÄʵ¼ÊÎÊÌâ½øÐÐÁËÉîÈëµÄÑо¿£¬²¢½øÐÐÁËÓÐЧµÄ¸Ä½ø£¬¾¸Ä½øºóµÄ¹¤ÒÕ¼°³ÉÌ×É豸ÒÑÄܹ»Âú×㳤ÆÚÎȶ¨Éú²úµÄÒªÇó£¬Ëù´¦ÀíµÄÄ£¾ßÊÙÃüˮƽ´ïµ½½ø¿ÚͬÀàÄ£¾ßÊÙÃüˮƽ£¬È¡µÃÁ˷ḻµÄ¸÷ÀàÄ£¾ßʵ¼ÊÓ¦ÓõÄÉú²ú¾Ñ飬Ϊ´ó¹æÄ£ÍƹãÓ¦Óøü¼Êõµì¶¨Á˼áʵµÄ¼¼Êõ»ù´¡¡£
¡¡¡¡
¡¡¡¡4¡¢ÊÊÓ÷¶Î§
¡¡¡¡
¡¡¡¡À©É¢·¨½ðÊô̼»¯Î︲²ã¼¼Êõ¿ÉÒԹ㷺ӦÓÃÓÚ¸÷ÀàÒòÄ¥Ëð¡¢Ò§ºÏ¶øÒýÆðʧЧµÄ¹¤Ä£¾ß»ò»úеÁã¼þ¡£ÆäÖУ¬ÒòÄ¥Ëð¶øÒýÆðµÄʧЧ(Èç³å²Ã£¬Àäï棬·ÛÄ©³ÉÐ͵ÈÄ£¾ß)¿ÉÌá¸ßÊÙÃüÊý±¶ÖÁÊýÊ®±¶£»ÒòÒ§ºÏ¶øÒýÆðµÄ²úÆ·»òÄ£¾ßµÄÀÉËÎÊÌâ(ÈçÒýÉìÄ££¬·±ßÄ£µÈ)£¬¿ÉÒÔ´Ó¸ù±¾ÉÏÓèÒÔ½â¾ö¡£
¡¡¡¡
¡¡¡¡ÊÊÓòÄÁÏ£º
¡¡¡¡
¡¡¡¡Ä£¾ß¸Ö£¬º¬Ì¼Á¿´óÓÚ0.3%µÄ½á¹¹¸Ö£¬ÖýÌú£¬Ó²ÖʺϽð¡£
ÃâÔðÉùÃ÷£ºÉÏÎĽö´ú±í×÷Õß»ò·¢²¼Õ߹۵㣬Óë±¾Õ¾Î޹ء£±¾Õ¾²¢ÎÞÒåÎñ¶ÔÆäÔ´´ÐÔ¼°ÄÚÈݼÓÒÔ֤ʵ¡£¶Ô±¾ÎÄÈ«²¿»òÕß²¿·ÖÄÚÈÝ(ÎÄ×Ö»òͼƬ)µÄÕæʵÐÔ¡¢ÍêÕûÐÔ±¾Õ¾²»×÷Èκα£Ö¤»ò³Ðŵ£¬Çë¶ÁÕ߲ο¼Ê±×ÔÐкËʵÏà¹ØÄÚÈÝ¡£±¾Õ¾ÖÆ×÷¡¢×ªÔØ¡¢Í¬Òâ»áÔ±·¢²¼ÉÏÊöÄÚÈݽö³öÓÚ´«µÝ¸ü¶àÐÅϢ֮ĿµÄ£¬µ«²»±íÃ÷±¾Õ¾ÈÏ¿É¡¢Í¬Òâ»òÔÞͬÆä¹Ûµã¡£ÉÏÊöÄÚÈݽö¹©²Î¿¼£¬²»¹¹³ÉͶ×ʾö²ßÖ®½¨Ò飻Ͷ×ÊÕ߾ݴ˲Ù×÷£¬·çÏÕ×Ôµ£¡£Èç¶ÔÉÏÊöÄÚÈÝÓÐÈκÎÒìÒ飬ÇëÁªÏµÏà¹Ø×÷Õß»òÓë±¾Õ¾Õ¾³¤ÁªÏµ£¬±¾Õ¾½«¾¡¿ÉÄÜÐÖú´¦ÀíÓйØÊÂÒË¡£Ð»Ð»·ÃÎÊÓëºÏ×÷£¡ ÖÐÎÙÔÚÏ߲ɼ¯ÖÆ×÷.
|